簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "Hsien-Tang Chiu".ecommittee (精準) and ckeyword.raw="微影製程,金屬玻璃"


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    一維和二維週期性鋯基金屬玻璃光柵在矽晶片表面上之製備與分析
    • 材料科學與工程系 /100/ 碩士
    • 研究生: 陳威廷 指導教授: 陳建光
    • 在本研究中利用微影製程技術製備出奈米結構光阻在矽晶片上,並使用磁控射頻濺鍍分別濺鍍不同厚度之鋯基金屬玻璃薄膜,探討晶片上之光阻與鍍膜去除光阻後鋯基金屬玻璃之奈米結構之光柵現象與親疏水性質。 …
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    • 全文公開日期 2017/07/26 (校內網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (校外網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)
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