檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "Hsien-Tang Chiu".ecommittee (精準) and ckeyword.raw="微影製程,金屬玻璃"
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在本研究中利用微影製程技術製備出奈米結構光阻在矽晶片上,並使用磁控射頻濺鍍分別濺鍍不同厚度之鋯基金屬玻璃薄膜,探討晶片上之光阻與鍍膜去除光阻後鋯基金屬玻璃之奈米結構之光柵現象與親疏水性質。 …